用于先端制程的鉭靶材及環(huán)件，僅有美國、日本的少數(shù)幾家跨國公司能夠生產(chǎn)，如今這個(gè)名單中可以加上中國企業(yè)江豐電子。

8月31日，江豐電子(300666.SZ)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入5nm先端工藝，得到了全球一流芯片制造企業(yè)的認(rèn)可。

據(jù)了解，江豐電子的高純金屬濺射靶材在技術(shù)門檻最高的半導(dǎo)體領(lǐng)域，已具備了一定國際競(jìng)爭(zhēng)力，公司產(chǎn)品成功打入5nm先端技術(shù)，成為臺(tái)積電、中芯國際、SK海力士、聯(lián)華電子等全球知名芯片制造企業(yè)的核心供應(yīng)商。

值得一提的是，江豐電子的產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力在同行業(yè)居領(lǐng)先地位。2022年上半年，公司研發(fā)投入5992.72萬元，同比增長32.86%，占營業(yè)收入的5.52%。

得到全球一流芯片制造企業(yè)認(rèn)可

8月31日，有投資者在互動(dòng)平臺(tái)提問，江豐電子與其他半導(dǎo)體企業(yè)相比，有哪些競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，是否具有一定的稀缺性?

江豐電子回應(yīng)表示，公司的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)主要集中在：技術(shù)優(yōu)勢(shì)，具有國際水平的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新;產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，擁有穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)品性價(jià)比優(yōu)勢(shì)和良好的品牌形象;有利的市場(chǎng)地位，擁有優(yōu)質(zhì)的客戶資源和領(lǐng)先的市場(chǎng)份額。產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入5nm先端工藝，得到了全球一流芯片制造企業(yè)的認(rèn)可。

江豐電子主營業(yè)務(wù)為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備機(jī)臺(tái)的關(guān)鍵零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其中超高純?yōu)R射靶材包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、銅靶以及各種超高純金屬合金靶材等，這些產(chǎn)品主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路芯片、液晶面板、薄膜太陽能電池制造的物理氣相沉積(PVD)工藝，用于制備電子薄膜材料。

2022年半年報(bào)中，江豐電子介紹，經(jīng)過多年的技術(shù)研究與突破，公司的高純金屬濺射靶材在技術(shù)門檻最高的半導(dǎo)體領(lǐng)域已具備一定國際競(jìng)爭(zhēng)力，公司產(chǎn)品成功打入5nm先端技術(shù)，成為臺(tái)積電、中芯國際、SK海力士、聯(lián)華電子等全球知名芯片制造企業(yè)的核心供應(yīng)商。

具體來看，在超大規(guī)模集成電路芯片中，超高純鈦是被廣泛應(yīng)用的阻擋層薄膜材料之一。鈦環(huán)件則是應(yīng)用于130-55nm工藝當(dāng)中，與超高純鈦靶材配套使用，其主要功能是實(shí)現(xiàn)更好的薄膜性能，以達(dá)到更高的集成度要求。

目前，在先端的銅制程超大規(guī)模集成電路芯片中，超高純鉭是阻擋層薄膜材料。鉭靶材及環(huán)件是在90-5nm的先進(jìn)制程中必需的阻擋層薄膜材料，因?yàn)閼?yīng)用在最尖端的芯片制造工藝當(dāng)中，鉭靶材及環(huán)件是靶材制造技術(shù)難度最高、品質(zhì)一致性要求最高的尖端產(chǎn)品。

之前，用于先端制程的鉭靶材及環(huán)件僅有美國和日本的少數(shù)幾家跨國公司能夠生產(chǎn)。特別是鉭環(huán)件生產(chǎn)技術(shù)要求極高，目前只有江豐電子、霍尼韋爾、日礦掌握了生產(chǎn)此產(chǎn)品的核心技術(shù)。

近年來，隨著高端芯片需求的爆炸式增長，鉭靶材及環(huán)件的需求大幅增長，全球供應(yīng)鏈極其緊張。目前，公司生產(chǎn)的鉭靶材及環(huán)件主要用于超大規(guī)模集成電路領(lǐng)域。

超高純鉭靶收入增41.79%

不僅如此，超高純銅及銅錳、銅鋁合金靶材是目前使用最為廣泛的先端半導(dǎo)體導(dǎo)電層薄膜材料之一。

在其應(yīng)用領(lǐng)域中，超大規(guī)模集成電路芯片的制造對(duì)濺射靶材金屬純度的要求最高，通常要求達(dá)到99.9999%(6N)以上，平板顯示器、太陽能電池用銅靶的金屬純度略低，分別要求達(dá)到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。銅及銅合金作為導(dǎo)電層通常用于90-3nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的先端芯片中。

特別是銅錳合金靶材制造難度高，目前只有江豐電子、霍尼韋爾、日礦掌握了生產(chǎn)此產(chǎn)品的核心技術(shù)。

江豐電子表示，近年來隨著高端芯片需求的爆炸式增長，銅錳合金靶材的需求大幅增長，全球供應(yīng)鏈極其緊張。公司生產(chǎn)的銅及銅合金靶主要用于超大規(guī)模集成電路芯片和平板顯示器制造領(lǐng)域。

攻克了技術(shù)難題，江豐電子的業(yè)績(jī)?cè)鲩L也“順理成章”。

2022年上半年，江豐電子實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入10.86億元，較上年同期增加50.18%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤1.13億元，同比增長181.49%;歸屬上市公司股東凈利潤1.55億元，同比增長156.24%。

其中，江豐電子超高純金屬濺射靶材業(yè)務(wù)穩(wěn)步提升，超高純鉭靶實(shí)現(xiàn)銷售收入3.4億元，同比增長41.79%;超高純鋁靶實(shí)現(xiàn)銷售收入1.72億元，同比增長35.21%;超高純鈦靶實(shí)現(xiàn)銷售收入1.47億元，同比增長49.47%。

江豐電子表示，2022年上半年，公司先端制程的超高純金屬濺射靶材的海外銷量持續(xù)增加，同時(shí)隨著國內(nèi)加大對(duì)12英寸工廠建設(shè)的投資力度，公司的靶材產(chǎn)品作為Baseline直接導(dǎo)入，國內(nèi)的先端制程靶材銷售也有明顯增長。

值得一提的是，江豐電子的產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力在同行業(yè)居領(lǐng)先地位。2022年上半年，公司持續(xù)加大技術(shù)研發(fā)和新品開發(fā)，研發(fā)投入5992.72萬元，較上年同期增加1482.02萬元，增長32.86%，占營業(yè)收入的5.52%。

2022年上半年，江豐電子及子公司共取得36項(xiàng)發(fā)明專利、27項(xiàng)實(shí)用新型專利。截至2022年6月30日，公司及子公司共取得境內(nèi)有效授權(quán)專利527項(xiàng)，包括發(fā)明專利308項(xiàng)，實(shí)用新型專利219項(xiàng)。

江豐電子表示，公司持之以恒地加大研發(fā)投入，從生產(chǎn)裝備的設(shè)計(jì)定制到原材料的自主可控，已經(jīng)建立了完備的供應(yīng)鏈體系，擁有完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，硬核實(shí)力不斷增強(qiáng)，為公司業(yè)務(wù)發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。